真空熱處理爐怎么抽真空？
最佳答案：
操作步驟如下：先羅茨泵啟動，打開前閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動機械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，啟動預(yù)熱擴散泵，主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前泵機組對擴散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量擴散泵前真空度高于規(guī)定值時，打開預(yù)抽爐內(nèi)真空，先關(guān)前閥，并停羅茨泵，稍后找開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵，前泵機組對爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度。